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自21世紀(jì)以來，由半導(dǎo)體微電子技術(shù)引發(fā)的微納米加工時(shí)代依賴于微納米尺度的功能結(jié)構(gòu)與器件，實(shí)現(xiàn)功能結(jié)構(gòu)微納米化的基礎(chǔ)是微納米加工技術(shù)。

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