飛秒激光器由于激光脈沖很短, 擁有很好的激光功率密度, 其加工效果超過納秒和皮秒激光. 光束所到之處能夠瞬間將材料消融氣化, 由于激光脈沖短, 激光能量無法在如此短的時間內(nèi)擴(kuò)散到周圍材料中, 所以對加工區(qū)域周圍影響微乎其微, 是一種冷態(tài)加工技術(shù).
WOP系統(tǒng)采用高品質(zhì)的飛秒激光器, 同步高精密光束掃描振鏡和脈沖選擇器, 在空間,時間和能量上提供全方位高精度控制, 從而提供高難度的加工能力, 亞微米精度的分辨率和重復(fù)性, 以及很高的微加工速度 .